据外媒最新报道称，ASML已经开始制造新一代极紫外光刻机，其每台造价达到了1.5亿美元，约合人民币近9.7亿元。

根据消息显示，在位于美国康涅狄格州郊区的一间大型洁净室里，ASML工程师们已经开始为一台机器制造关键部件，这台机器有望让芯片制造行业沿着摩尔定律至少再走上10年时间。

新一代极紫外光刻机大约有一辆公共汽车那么大，造价1.5亿美元整个机器包含10万个部件和2公里长的电缆每台机器发货需要40个集装箱，3架货机或者20辆卡车只有诸如台积电，三星和Intel等少数公司能买得起这种机器

，这真是一台不可思议的机器，，麻省理工学院研究新型晶体管架构的教授 Jesuacute，s del Alamo 说，这绝对是一款革命性的产品，是一项突破，将给芯片行业带来新的生命

造好的组件将于2021年底运往荷兰维荷芬，然后在2022年初安装到新一代极紫外光刻机的第一台原型机中Intel可能会使用这种新机器制造出第一批芯片

Intel表示，预计将在2023年下线第一批芯片凭借比以往任何机器所蚀刻的图案尺寸更小，让每个芯片都有数百亿个元件，这台机器在未来几年所生产的芯片应该是史上处理速度最快，效率最高的

值得一提的是，新一代极紫外光刻机采用更大的数值孔径来进一步缩小芯片上的元件尺寸这种方式允许光线以不同角度穿过光罩，从而增加图案成像的分辨率这就需要更大的镜子和新的软硬件来精确控制组件蚀刻

ASML当前一代极紫外光刻机可以制造出分辨率为13nm的芯片新一代极紫外光刻机将使用更高数值孔径来制作8nm大小的特征图案

目前台积电在芯片制造过程中使用的就是极紫外光刻技术其客户包括苹果，NV和Intel